2021年7月30日，上海市真空學會組織的“微油螺桿真空泵和光伏用干式螺桿真空泵科技成果評價會”在上海漢鐘精機股份有限公司召。
摘要微型化真空泵對于微機電系統和真空微電子器件的真空封裝極具意義本文從工作原理和工藝實現方面，分析了常見傳統真空泵。
">作者:admin人氣：0更新：2025-11-27 00:36:27
針對此問題，麻省理工學院的研究人員利用3D打印技術制造了一臺微型真空泵這種真空泵可以代替干式真空泵作為部分質譜儀真空。
2021年7月30日，上海市真空學會組織的“微油螺桿真空泵和光伏用干式螺桿真空泵科技成果評價會”在上海漢鐘精機股份有限公司召。
摘要微型化真空泵對于微機電系統和真空微電子器件的真空封裝極具意義本文從工作原理和工藝實現方面，分析了常見傳統真空泵。
標簽：微型干式真空泵
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